3. 1 扫描检漏 光度计扫描法法: 使用多分散 DOP 气溶胶( 冷 烟) 发生器( 浓度范围: 80μg ～ 100μg) 向空气过滤器 上游侧发 DOP 气溶胶，同时用光度计( 测量范围: 0. 01μg /L ～ 100μg /L，MPE: ± 0. 05% ) 的采样器在 下游侧距空气过滤器表面( 20 ～ 30) mm 处，沿着整 个表面、边框及其框架接缝等处进行扫描巡检，采样 量为 28. 3L /min，巡检速度为( 20 ～ 30) mm /s。当下 游侧浓度与上游侧浓度的比大于 0. 01% 时，则认为 有明显泄漏，应进行堵漏。 计数扫描法: 当大气层浓度足够大时( 对于高 效过滤器，上游≥0. 5μm 的气溶胶浓度须大于等于 4000 粒/L; 对于超高效过滤器，上游≥0. 3μm 的气 溶胶浓度须大于等于 6000 粒/L) ，可选择大气层作 为扫描检漏的测试，不满足上述要求时，宜使用多分 散 DOP 气溶胶，同时用尘埃粒子计数器( 粒子分辨 率由 0. 3μm 或 0. 1μm 起始; 取样流量 2. 83L /L 或 28. 3L /L，MPE: ± 30% ) 的采样器在下游侧距空气 过滤器表面( 20 ～ 30) mm 处，沿着整个表面、边框及 其框架接缝等处进行扫描巡检，采样流量为 2. 83L / min 或 28. 3L /L，巡检速度为( 20 ～ 30) mm /s。当尘 埃粒子计数器计数显示任一点在所观察的粒径档 ( 高 效 过 滤 器 为 ≥ 0. 5μm; 超高效过滤器为 ≥ 0. 1μm) 出现“非零”读数( 超过 3 粒/min) ，则认为 有明显泄漏，应进行堵漏。

3. 2 空气洁净度 超净工作台置于正常工作条件下运行 10min， 使用尘埃粒子计数器 ( 取 样 流 量 2. 83L /min 或 28. 3L /min，MPE: ± 30% ) 的采样口置于工作台面 向上 200mm 高度横向中心线位置均匀取 2 个点作 为测量点( 可多于 2 个点) ，最小采样量不得小于 2L，每个点测量5 次，取各测量点的算术平均值作为 测量结果，并判断超净工作台的空气洁净度等级。 

3. 3 风速 在距离内侧壁板 100mm 围成，距离过滤器出风 板 100mm 处平面区域内测量气流的平均风速，平面 区域按行、列均为 150mm 的网格分布，各个网格中 心点即为风速测量点，若去除测量边界后净尺寸不等于 15 的整数倍，则允许修正测量点的距离，使用 热球式风速仪或风量测量仪( 测量范围: ( 0. 5 ～ 30) mm /s; MPE: ± 3% ) 测量，各测量点读数的算术平均 值为其平均风速。 各测量点测量值的相对标准偏差为风速不均与度。 

3. 4 沉降菌浓度 超净工作台置于正常工作条件下运行 10min， 在工作台面横向中心线均匀取 3 个点作为测量点 ( 可多于 3 个点) ，将装有营养琼脂的 90mm 培养 皿置于测量点上，暴露 0. 5h 后，盖上皿盖，取出培养 皿在( 30 ～ 35) ℃ 的培养箱中培养 48h，用肉眼对每 个培养皿上所有菌落直接计数，取其算术平均值作 为沉降菌浓度。 

3. 5 噪声 在超净工作台前壁面中心水平向外 300mm，高 度距地面 1. 1m 处使用声级计( 测量范围为( 40 ～ 100) dB，1 级) 测量，测量 3 次，取测量值的算术平均 值作为噪声值。声级计附近 lm 的范围内不应有其 他反射物。 

3. 6 照明 在超净工作台台面横向的中心线上，均匀布置 3 个点作为测量点( 可多于 3 个点) ，采用照度计( 测 量范围: 0. 1lx ～ 1000lx，MPE: ± 4% ) ，取算术平均值 作为超净工作台的照度。